Elastomere sind die angenehm elastischen Dichtstoffe für viele Anwendungen. Anschmiegend füllen sie Unebenheiten durch die mechanische Bearbeitung oder das Schweissen aus und dichten dadurch ab. Weiter dämpfen sie den überwiegend metallischen Aufbau der Vakuumkammer und der Rohrleitungen.
Sie weisen jedoch auch Eigenschaften auf, die in der Vakuumtechnik nicht beliebt sind. Zuerst die Durchlässigkeit für Gase, auch Permeation genannt, beschränkt den Einsatz auf Leckraten von ca. 10-9 bis 10-10 Pa m3/s.
Zweitens das Ausgasen, das beschränkt den Einsatz auf Vakuum-Enddrücke von 10-5 bis ca 10-7 hPa. Das Ausgasen nimmt mit der Zeit ab, beim Ausheizen wird der Vorgang beschleunigt.
Weiter reagieren Elastomere mit Medien und können dabei Abbauprodukte erzeugen, die z.B. ins Medium wandern. Sie können selbst an Substanz verlieren und die Dichtung dadurch undicht werden lassen. Elastomere können auch den anliegenden Werkstoff korrodieren. Elastomere sind beschränkt temperaturbeständig.
Für die verschiedenen Anwendungen in der Vakuumtechnik stehen deshalb einige Varianten des außerordentlich vielfältigen Werkstoffes Elastomer bereit.